產品簡介

二、核心技術參數

1. 測量原理：皮拉尼 + 冷陰極復合式

2. 測量量程：

   皮拉尼段：大氣壓～1Pa

   冷陰極段：1Pa~1×10??Pa

3. 接口規格：NW25 真空法蘭

4. 輸出信號：標準電壓信號輸出，可對接工控系統、顯示儀表

5. 工作電壓：常規工業直流供電

6. 使用溫度：標準工業環境適用溫度區間

7. 材質：真空腔體耐腐蝕金屬材質，抗氣體侵蝕

8. 響應速度：壓力變化快速感應，數據反饋及時

三、結構與技術特點

1. 雙原理集成

   低真空依靠皮拉尼熱傳導檢測，高真空啟用冷陰極電離檢測，無縫自動切換，全程無測量盲區。

2. 抗干擾性能強

   內部電路優化設計，抵御電磁干擾，復雜工業工況下數值無波動。

3. 密封性優異

   標準 NW25 法蘭連接，對接緊密，杜絕漏氣影響測量數據。

4. 耐用性高

   無易損耗易耗件，長期連續運行穩定，維護頻次低。

5. 通用性強

   適配各類國產、進口真空機組，安裝替換便捷，兼容性好。

6. 精準度高

   出廠嚴格校準，重復性測量誤差小，滿足精密工藝管控標準。

四、適用領域

1. 半導體真空制程、晶圓加工設備

2. 真空鍍膜、濺射、蒸發鍍膜設備

3. 科研實驗室真空腔體檢測

4. 熱處理真空爐、焊接真空設備

5. 電子元器件真空封裝設備

五、使用要點

1. 安裝前清理管路雜質、粉塵，避免堵塞感應腔體

2. 嚴格匹配供電電壓，防止電壓異常損壞內部元件

3. 長期停用需做好防塵防潮存放

4. 定期進行零點校準，保障測量精準度

5. 避免腐蝕性強濃度氣體長時間通入，延長設備使用壽命

六、性能優勢總結